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シリコンカーバイド:特集:主流になりつつある半導体
シリコンチップはほぼすべての電子製品に組み込まれていますが、用途によってはシリコンチップを超える効率が求められます。その中で、シリコンカーバイド(SiC)チップがシリコンに代わる高性能な選択肢として普及しています。VATの真空ソリューションにより、さらに多くの用途でSiCチップの持続可能な利用が実現されています。(読了目安:約2分)
その原点は、アイデア、ビジョン、あるいは既存のプロジェクトです。私たちは、モジュールを、カスタマイズされたハウジング内の真空バルブとその他の真空コンポーネントのアセンブリと定義しています。私たちが作る各モジュールは、特定の要件に合わせて作られます。要件やロットに応じて、モジュールに加えて、専用のメンテナンスやスペアパーツのコンセプトも開発します。このようにして、私たちは定義されたライフサイクルにわたってモジュールの完全な機能性を保証します。
メリット
シングルソースの完全なアセンブリとして、すべてのコンポーネントが最適な方法で相互作用することが保証されます。性能パラメータは、各コンポーネントごとに定義するのではなく、システム全体でシンプルに定義することができます。
各VATモジュールは、すぐに組み立てられるユニットとして提供されるため、完全なシステムの組み立てを簡単かつ迅速に行うことができます。また、部品番号が1つだけなので、サプライチェーンの複雑さが軽減され、部品リストが減り、その結果、部品を準備しておくために必要なロジスティクス作業が軽減されます。これにより、モジュールシリーズの調達プロセスが簡素化され、Ship-to-Lineが可能になります。
メリットは高い生産品質で大幅なコスト削減を可能にすること。
高純度が標準
超クリーンな真空アプリケーション用の真空部品ソリューションにおけるVATの実証済みの専門知識は、機械加工から組立、試験、包装までのすべての製造工程が、高純度から超高純度の基準の下で組織されていることを意味します。ここではISOクラス6が標準となっていますが、サブステップでより高い要求を満たすことも可能です。すべての洗浄工程を含むすべての製造工程は文書化され、厳しく監視されています。VATは、製造中の個々のコンポーネントの純度をin-situのパーティクルモニタリングによって監視することができます。
高度な一体化とコンパクトなデザイン
設計から製造までを一貫して行うVATモジュールは、従来のように個々の部品で構成されたモジュールに比べて、より高度な一体化が可能であるというメリットがあります。例えば、バルブ機能をフランジで取り付けるのではなく、モジュールのハウジングに直接組み込むことができます。これにより、通常、性能パラメータは同じかそれ以上でありながら、寸法がはるかにコンパクトになります。さらに、高度に一体化されているため、部品の数や材料の使用量を減らすことができます。
また、よりコンパクトな設計にすることで、内部の容積や媒体と接触する表面を最適化することができます。不必要なインターフェイスが排除され、シールの全長が短くなることで、透過率が減少します。その結果、プロセスガスの量が減り、排気やベントにかかる時間が短くなります。全体的には、より低いベース圧でより高い生産スループットが得られ、その結果、真空ポンプの小型化など、コスト効率の向上につながります。
経験を活かして
VATモジュールは、世界中のさまざまな真空プロセスで使用されています。10,000台を超えるモジュールのインストールベースから得られた経験は、私たちがお客様に提供するすべてのプロジェクトに活かされています。VATモジュールの詳細については、お問い合わせください。
VAT ロードロックモジュール(LL)
VAT トランスファーモジュール (TM)
VAT 隣接コンポーネント(AC) 例えば、以下のようなもの。
メカトロニクスウェハーリフトシステム (7)
VATエッジ溶接メタルベローズ
VAT真空トランスファーバルブ (1)
VAT真空トランスファードア (2)
VAT 真空アングルバルブ (3)
VAT 真空ゲートバルブ (4)
VAT 真空コントロールバルブ (5)
VAT 真空シリンダーバルブ (6)
VAT 真空振り子式バルブ (8)