
シリコンカーバイド:特集:主流になりつつある半導体
シリコンチップはほぼすべての電子製品に組み込まれていますが、用途によってはシリコンチップを超える効率が求められます。その中で、シリコンカーバイド(SiC)チップがシリコンに代わる高性能な選択肢として普及しています。VATの真空ソリューションにより、さらに多くの用途でSiCチップの持続可能な利用が実現されています。(読了目安:約2分)
信頼性と効率性
真空炉用のVAT製品群には、ベントバルブ、ポンプアイソレーションバルブ、コントロールバルブに加えて、特定の自動インラインプロセス用のトランスファーバルブソリューションがあります。すべてのバルブソリューションは、お客様のシステムやプロセスに合わせてカスタマイズされます。様々な基本技術をベースに、それぞれのケースに最適なソリューションを開発します。
VATの真空バルブソリューションがどのように真空炉の真空制御の課題を解決できるかについては、以下の製品の中からお選びいただくか、直接お問い合わせください。