太陽電池薄膜の蒸着

ソーラーパネルメーカーは、最新の太陽電池の性能を構成する超薄膜を製造するために、さまざまなコーティングプロセス（CVD、ALD、MBE、PVDなど）を使用しています。すべてのプロセスに共通しているのは、アルゴン雰囲気下や真空下など、制御された大気条件で行われることです。コーティングプロセスの効率を上げるためには、真空とガスの分布を正確に制御することが重要です。VATのバルブ技術は、この分野の標準となっています。