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シリコンカーバイド:特集:主流になりつつある半導体
シリコンチップはほぼすべての電子製品に組み込まれていますが、用途によってはシリコンチップを超える効率が求められます。その中で、シリコンカーバイド(SiC)チップがシリコンに代わる高性能な選択肢として普及しています。VATの真空ソリューションにより、さらに多くの用途でSiCチップの持続可能な利用が実現されています。(読了目安:約2分)
VATメカトロニクス真空制御バルブ用の一体型または外部圧力コントローラは、幅広い構成オプションに対応しています。
メリット:
学習機能により、圧力コントローラーは、定義された制限内で、プロセス条件に合わせて自力でバルブ制御を調整します。これにより、速度、コンダクタンス、振動や衝撃の回避など、バルブ制御の有効性が向上します。
LEARN機能を操作(スタートアップ時に一度だけ実施)することで、関連するシステムパラメーターが自動的に決定されます。適応型アルゴリズムにより、圧力レギュレーターはガス流量やガス種の変化に絶えず適応し、常に最適な圧力制御を保証します。
位置制御モードでは、バルブプレートを任意の位置に移動させることができます。ステータスや位置は、4桁のディスプレイで表示されます。
VAT圧力コントローラは、Logic、RS232、RS485、DeviceNet®、Ethernet、Profibus、CC-LinkまたはEtherCATインターフェースを介して外部PCで制御することも可能です。そのため、VATではWindows用の専用の設定、制御、診断ソフトウェアを提供しており、PCをコントローラに接続すると自動的にロードされます。
また、RS232インターフェースとフィールドバスは、バルブを開閉する際のデジタル信号入力にも使用できます。さらに、デジタル出力には、「閉」と「開」の信号があります。
ロジックインターフェースによる制御は、デジタルとアナログ信号で行うことができます。
圧力コントローラはいずれも特定の真空バルブ用に設計されているため、まず対応するバルブタイプを特定し、そのバルブタイプで利用できるコントローラを確認する必要があります。
使用可能なインターフェース:
消費電力 - コントローラ+モーター - 停電時オプション(PFO) - センサー電源 (SPS) |
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk 最大 40 W 最大 10 W 最大 36 W |
センサー電源 | 24 V DC または ±15 V DC |
センサー入力 - 信号電圧 - 入力抵抗 - 分解能 - サンプリングレート |
0 – 10 V DC 圧力に比例 Ri = 100 kΩ 0.23 mV 10 ms |
制御精度 | 5mVまたは設定値の0.1% (いずれか高い方を適用) |
位置分解能 | バルブの種類により異なる |
保護システム | IP 30 |
許容温度 - バルブ本体 - コントローラ |
≤ 120 °C (シリーズ 61.6、95.3) ≤ 150 °C (シリーズ 61.3、61.7) 最大50 °C (推奨≤ 35 °C) |
使用可能なインターフェース:
消費電力 - コントローラ+モーター - 停電時オプション(PFO) - センサー電源 (SPS) |
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk 最大 150 W 最大 10 W 最大 40 W |
センサー電源 | 24 V DC または ±15 V DC |
センサー入力 - 信号電圧 - 入力抵抗 - 分解能 - サンプリングレート |
0 - 10 V DC 圧力に比例 Ri = 100 kΩ 0.23 mV 2 ms |
制御精度 | 5mVまたは設定値の0.1% (いずれか高い方を適用) |
位置分解能 | バルブの種類により異なる |
保護システム | IP 40 |
許容温度 - バルブ本体 - コントローラ |
≤ 80 °C (シリーズ 62.0、64.8) ≤ 120 °C (シリーズ 67.0) 最大50 °C (推奨≤ 35 °C) |
使用可能なインターフェース:
消費電力 - コントローラ+モーター - 停電時オプション(PFO) - センサー電源 (SPS) |
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk 最大 54 W 最大 10 W 最大 36 W |
センサー電源 | 24 V DC または ±15 V DC |
センサー入力 - 信号電圧 - 入力抵抗 - 分解能 - サンプリングレート |
0 - 10 V DC 圧力に比例 Ri = 100 kΩ 0.23 mV 10 ms |
制御精度 | 5mVまたは設定値の0.1% (いずれか高い方を適用) |
位置分解能 | バルブの種類により異なる |
保護システム | IP 20 |
許容温度 - バルブ本体 - コントローラ |
≤ 150 °C 最大50 °C (推奨≤ 35 °C) |
使用可能なインターフェース:
消費電力 - コントローラ+モーター - 停電時オプション(PFO) - センサー電源 (SPS) |
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk 最大 50 W 最大 10 W 最大 36 W |
センサー電源 | 24 V DC または ±15 V DC |
センサー入力 - 信号電圧 - 入力抵抗 - 分解能 - サンプリングレート |
0 - 10 V DC 圧力に比例 Ri = 100 kΩ 0.23 mV 10 ms |
制御精度 | 5mVまたは設定値の0.1% (いずれか高い方を適用) |
位置分解能 | 呼び径による |
保護システム | IP 20 |
許容温度 - バルブ本体 - コントローラ |
≤ 120 °C 最大50 °C (推奨≤ 35 °C) |
使用可能なインターフェース:
消費電力 - コントローラ+モーター - 停電時オプション(PFO) - センサー電源 (SPS) |
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk 最大 110 W 最大 10 W 最大 40 W |
センサー電源 | 24 V DC または ±15 V DC |
センサー入力 - 信号電圧 - 入力抵抗 - 分解能 - サンプリングレート |
0 - 10 V DC 圧力に比例 Ri = 100 kΩ 0.23 mV 2 ms |
制御精度 | 5mVまたは設定値の0.1% (いずれか高い方を適用) |
位置分解能 | 呼び径による |
保護システム | IP 40 |
許容温度 - バルブ本体 - コントローラ |
≤ 120 °C 最大50 °C (推奨≤ 35 °C) |
接続 | タイプ | |
電源 | シリーズ 61.3、61.6、61.7、95.3、62.0、67.0、64.8、 65.3、65.5 64.2 |
DB-15オス ワイドミュラー SL 3.50オス |
センサー | センサー入力 センサー電源 |
DB-15メス |
インターフェース | Logic, RS232, RS485 Ethernet (Logic I/O搭載) DeviceNet® (Logic I/O搭載) Profibus (Logic I/O搭載) CC-Link (Logic I/O搭載) CC-Link (Logic I/O搭載) 64.2 EtherCAT (Logic I/O搭載) |
DB-25 メス RJ 45 Micro-style M12 オス DB-9 メス DB-9 メス 5極ネジ端子 2 \u001f RJ 45 |
Logic I/O | シリーズ 61.3、61.6、61.7、95.3、62.0、67.0、64.8、 65.3、65.5 64.2 |
DB-15オス Binder M8メス |
サービス | コネクタ:下記を除くすべてのコネクタ 64.2 |
USBタイプB DB-15 HDメス |
センサー電源(SPS) | ±15V DC |
停電時オプション(PFO) | 定義された方法でバルブを自動的に開閉 |
バルブクラスター | マスタースレーブモードで複数のバルブを同期制御 |
VATが提供するCPAソフトウェアを使用したPCによるバルブ校正・制御は、非常にシンプルで直感的です。利用できる機能は以下の通りです:
操作を簡素化するため、校正、制御、解析は、標準の19インチラックに組み込まれたサービスボックスとコントロールパネルからも行うことができます。オプションはPCの場合と同等ですが、コンパクトなデザインとディスプレイの簡素化により、データの可視化には制限があります。