
シリコンカーバイド:特集:主流になりつつある半導体
シリコンチップはほぼすべての電子製品に組み込まれていますが、用途によってはシリコンチップを超える効率が求められます。その中で、シリコンカーバイド(SiC)チップがシリコンに代わる高性能な選択肢として普及しています。VATの真空ソリューションにより、さらに多くの用途でSiCチップの持続可能な利用が実現されています。(読了目安:約2分)
最新の圧力リリーフバルブに主に求められるのは、信頼性が高く、正確に作用するリリーフトリガーです。リリーフトリガーSERIES 21.2は、耐久性に優れた圧力スプリングによって駆動され、長寿命化が図られています。トリガーは、1.2〜1.5 barの圧力でバルブが開くよう調整されています。動作範囲は1×10-8 mbar~1.2 barで、ガス流量は最大6 l/minです。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 21.2は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。
圧力リリーフバルブSERIES 21.2のサイズはDN 16 mm(5/8”)です。バルブ本体はステンレス製。標準フランジはISO-KFです。耐熱温度は最高150 °Cです。
特徴:
メリット:
サイズ | DN 16 mm (⅝") | |
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ボディ素材 | ステンレス鋼 | |
標準フランジ | ISO-KF | |
漏れ率 | バルブ本体、バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs) | |
バルブを開けるときの許容最大差圧 | 1.2~1.5 bar | |
許容温度 | 周囲温度 | 0~50 °C |
ベイクアウト | ≤ 150°C | |
材料 | バルブ本体 | AISI 304L (AISI 1.4306) |
シール | FKM (Viton®) | |
ガス流量 | 0~6 l/min | |
重量 | 0.046 kg / 1 lbs |