SERIES 06.3大型角型ゲートバルブ／インサートTWINVATは、サイクル速度が高いディスプレイ生産システムの特別な要件を満たすために開発されました。このシリーズはSERIES 06.1のコンセプトに基づき、06.1と同様に、優れた高速開閉動作（開口部高さ150 mmで2秒以下）と、標準的なバルブのパフォーマンスを制限するプロセス関連の堆積物に対する耐性を兼ね備えています。プレッシャーエレメントが大きいSERIES 06.3は、全差圧に耐えることができます。そのため、OLEDやPVD、ロードロックなどの用途に特に適しています。
SERIES 06.3では、OLED用の「ウルトラクリーン」構成と、PVDおよびロードロック用途用の高速オプションが用意されています。
SERIES 06.3は、少なくとも100万回の耐用期間の間、高い稼働率と信頼性の高い動作を実現するように設計されています。
SERIES 06.3に採用されているTWINVAT技術は、モジュラープラットフォームコンセプトに基づいており、これによって衝撃のない開閉動作を実現しています。スムーズに動く複動式TWINVAT機構によって、シール面全体に均一なシール圧力が加わり、シールの摩耗や潜在的なパーティクルの放出が最小限に抑えられます。これにより、バルブが寿命を迎えるまでのFFKMシールの総コストが大幅に削減されます。
SERIES 06.3は、ハウジング付きの標準的な角型ゲートバルブとして、またはプロセスチャンバーに直接取り付けられるインサートバージョンとしてご利用いただけます。
SERIES 06.3 大型角型ゲートバルブ／インサートTWINVATは他のVAT角型ゲートバルブソリューションと同様に、お客様の仕様にぴったり合わせてオーダーメイドされています。プロセス制御ユニットの追加をはじめ、硬質アルマイト加工やニッケルメッキなどの特殊な表面処理、標準以外のシーリング材、バルブ本体内の圧力を検出する真空計、ベローズ保護シャフトフィードスルー、バルブとゲートのRFおよびDC接地オプション、アクチュエータの側面取り付け位置など、カスタマイズの選択肢も豊富です。
| サイズ | 100 x 1000 mm～300 x 3800 mm (3.94" x 39.37"～11.81" x 149.60") | ||
|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式、位置インジケーター付き | |
| ボディ素材 | アルミニウム | ||
| フィードスルー | シャフトフィードスルー | ||
| リークレート | バルブ本体 | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | |
| バルブシート | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
| 差圧 | ゲート部 | バルブ：閉方向のみ | ≤ 1 bar |
| インサート：開方向 | ≤ 30 mbar | ||
| 開動作時 | ≤ 5 mbar | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 100万 | ||
| 閉時間または開時間 | < 2.5 s（開口部高さが150 mmの場合） | ||
| 許容温度 | バルブ本体、ゲート | ≤ 120 °C | |
| アクチュエータ | ≤ 60 °C | ||
| 電磁弁 | ≤ 50 °C | ||
| 材料 | バルブ本体、ゲート | EN AW-6082 (3.2315)またはEN AW-5083 (3.3547) | |
| アクチュエータシャフト | AISI 316 (1.4401) | ||
| プレッシャーエレメントのベローズ | AISI 633 (AM 350) | ||
| シール | ゲート、フランジ、フィードスルー、アクチュエータ | FKM (Viton®) | |
| ポンプ/排気ポート | ISO-KF 40 | ||
| 取り付け位置 | アクチュエータ上または下 | ||
| 位置インジケーター | 電圧 | 24 V DC PNP（オプションでNPN） | |
