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シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

  • 65.3 - 65348-JHGH
65.3 - 65348-JHGH

シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

品番
65348-JHGH

SEMI,FPD製造装置の圧力制御と真空封止用に最適

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 250 (10")
フランジ
JIS
材料
硬質アルマイド加工アルミニウム
アクチュエータ
ステッピングモーター
コントローラー構成
ベーシックバージョン
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
最小圧力
1 × 10-6 mbar
最大圧力
1.2 bar (abs)
コンダクタンス
22000 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 1 bar
Controller interface + sensors
RS232インタフェース / センサー 2つ
閉→開
4 s
開→閉
3 s
圧力制御（スロットル） 高速時間
0.5 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
0.9 s
圧縮空気の最大圧力
7 bar / 102 psi
圧縮空気の最小圧力
4 bar / 58 psi
重量
29 kg / 64 lbs
バルブ本体最大温度
≤ 120 °C
製品のアドオン
バルブ
温度管理
アクチュエータ
ゲート

65.3 HV Pendulum Control Valve 65348-JHGH Product Datasheet

PDF 254.95 KB

653_HV_Pendulum_Control_Valve_65348_JHGH_3D_CAD_File-1297245a_zAL2eGeyBG.zip

ZIP 601.45 KB

65.3 HV Pendulum Control Valve 65348-JHGH 2D Dimension Drawing

PDF 829.76 KB

スペアパーツ

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