47.1 極高真空RFオールメタルゲートバルブは、開バルブ位置のフランジ間のスペースをビーム管の寸法に合うRF接点でブリッジするように設計されています。RF接点に加えて、フランジには電気接点があります。これで、バルブ通過の喪失を最小限に抑えて、粒子ビームとRFフィールドを誘導します。
閉バルブ位置では、この最新オールメタルバルブで確実に隔離します。これには、高耐放射線性 (最大108Gy)、高耐熱温度、また耐久性と信頼性の高い「密着」シーリングシステムが含まれます。
47.1 極高真空RFオールメタルゲートバルブ シリーズには、VATRING技術が駆使されています。この動的オールメタルシーリングシステムには、一貫した確実な密閉および絶え間ない閉力の能力があります。これにより、比較的低い軸力で高い密閉力が可能になります。シーリングパートナーはステンレス鋼で、弾性的にのみ変形します。バルブ耐熱温度は、開閉位置で最大300 °Cが可能です。
オールメタルバルブは、寿命サイクル1万回 (DN40mm～160mm)、5,000回 (DN200 mm)を実現できるように設計され、試験されています。シーリングシステムは、クリーンな真空環境で10万回リークしない封止性を備えています。
全世界のほぼすべてのアクセルおよびシンクロトロン施設に設置されている47.1シリーズは、その抜群の信頼性を証明しています。RFバルブ応用の標準になっています。
バルブはDN40 mm～DN200 mm (1½インチ～8インチ) です。標準フランジはCF-Fです。
バルブRF開度は、お客様のビームプロフィルに合わせて調整されます。ほぼすべてのビーム管の形状に対応可能です。
ゲート本体とアクチュエータの間の長さは、耐熱温度を最大限にするまで拡張可能です。追加のオプションとして、定義された透磁性の耐磁性バージョン、低透磁性材料のRF接触点、さまざまな導波管、さまざまなソレノイド位置インジケーター構成、また荒削り、排気用ポートやゲージ用ポートがあります。
特徴：
メリット：
| サイズ | DN 40 (1½")、DN 63 (2½")、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8") | ||
|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式 | |
| ボディ素材 | ステンレス鋼 | ||
| フィードスルー | ベローズ | ||
| 標準フランジ | CF-F | ||
| シーリング技術 | VATRING密着シーリング | ||
| 漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-10 mbar ls-1 | |
| バルブシート | < 1 × 10-10 mbar ls-1 | ||
| 圧力範囲 | 極高真空～2 bar (abs) | ||
| 差圧 | ゲート部 | ≤ 1 bar | |
| 開動作時 | ≤ 500 mbar | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | DN 40 – 160 DN 200 | 10 000 5 000 | |
| 許容温度 | バルブ本体 | ≤ 300 | |
| 圧空アクチュエータ | ≤ 200 °C | ||
| 電磁弁 | ≤ 80 °C | ||
| 位置インジケーター | ≤ 80 °C (オプション：200 °C) | ||
| 加熱および冷却速度 | DN 40 – 160 DN 200 | ≤ 50 °C h-1 ≤ 25 °C h-1 | |
| 材料 | バルブ本体 | AISI 316L (1.4404、1.4435) | |
| 機構 | AISI 316L (1.4404、1.4435) | ||
| ベローズ | AISI 316L (1.4435) | ||
| RF接触点 | AISI 301 (1.4310)、耐熱銀コーティング | ||
| シール | ボンネット | 金属 | |
| ゲート | 金属 | ||
| 取り付け位置 | ビームライン水平、それ以外は自由 | ||
| 電磁弁 | 24 VDC、2.5 W (ご要望による) | ||
| 位置インジケーター：接触評価 | 電圧 | ≤ 50 VAC/DC | |
| 電流 | 80°C: ≤ 1.2 A | 200°C: ≤ 1 A | |
| バルブの開閉位置表示 | 機械的な目視位置表示付き | ||
