61.7 HVバタフライコントロールバルブは、VATの最新コントローラ技術に基づき、非常に広い圧力範囲で卓越した圧力制御性能を発揮します。コンダクタンスがほぼゼロの状態から、フルコンダクタンスを達成するまでにかかる時間は0.5秒です。高速かつ正確なコントローラにより、全動作範囲において非常にきめ細かい圧力制御が可能です。圧力制御機能は、たしかな実績を持つVATの設計原理に基づいており、バルブプレートが絞りとして機能することで、バルブ開口部のコンダクタンスを変更できます。
61.7 HVバタフライコントロールバルブは、外部圧力センサーを使用し、真空チャンバー内の圧力を正確に制御しています。これを実現するため、VATコントローラはホストシステムによって設定された設定圧力とチャンバー内の測定圧力を使い、設定圧力に達するまでバルブプレートの位置を変更します。
61.7HVバタフライコントロールバルブは遮断バルブとして設計されたわけではありませんが、ゼロコンダクタンスでも機能します。これは、プレート上のエラストマーがコンダクタンスがゼロになる状態でバルブ本体に接触しているためです。しかし、このエラストマーの圧縮は、気密封止を作る上では効果的ではありません。
コンダクタンスがゼロの状態からバルブが開くと、圧力スパイクを生じることなく、非常に均一にコンダクタンスを増加させることができます。VAT独自の設計では、プレートシールがバルブ本体に対して均等に圧縮されるため、コンダクタンスプロファイルのスムーズな上昇が実現します。この点で、61.7 HVバタフライコントロールバルブは、高圧・低流量の操作環境を必要とするアプリケーションに特に適しているといえます。
61.7HVバタフライコントロールバルブは、150℃までの温度範囲で使用できるため、例えば、プロセス温度を上昇させることでガス流の凝縮を防止する高温プロセスにも最適です。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 61、なかでもSERIES 61.7の設計コンセプトは、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。堅牢な設計だけではなく、メンテナンス回数の少なさやメンテナンスのしやすさなど、61.7 シリーズはあらゆる面でご満足いただける商品です。
61.7HVバタフライコントロールバルブには、ボディ材質、表面処理、エラストマー材質、フランジ接続、絞りエレメント、カスタマイズ制御アルゴリズム（適応型制御、fix PI下流/ソフト排気制御）など、様々な設計オプションがあります。この豊富なオプションにより、61.7シリーズは多様なアプリケーションに簡単に組み込むことができ、また既存のシステムにレトロフィットすることも可能です。
特徴：
メリット：
| サイズ | DN 40 mm (1 ½"), DN 50 mm (2"), DN 63 mm (2 ½"), DN 80 mm (3"), DN 100 mm (4") | |
|---|---|---|
| アクチュエータ | ステッピングモーター搭載一体型コントローラ, フィールドオリエンテッド 制御 (foc) | |
| ボディ素材 | 硬質アルマイド加工アルミニウムまたはステンレス鋼 | |
| 標準フランジ | ISO-KF, ISO-F | |
| 漏れ率（バルブ本体）1) | 硬質アルマイド加工アルミニウム ステンレス鋼 | < 1 × 10-5 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 圧力範囲1) | 硬質アルマイド加工アルミニウム ステンレス鋼 | < 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (abs) < 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) |
| 第1回サービスまでのサイクル数2) | 圧力制御 | 200万 |
| 許容温度 | バルブ本体 コントローラ | ≤ 150 °C 最大50 °C (推奨≤ 35 °C) |
| 材料 | バルブ本体、プレート バルブ本体、シャフト | EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1.4404 または 1.4435) |
| シール | プレート フィードスルー | FKM FKM |
| フィードスルー | ロータリーフィードスルー | |
| 取り付け位置 | バルブシートはチャンバー側方向 |
1) 納入時は非加熱
2) 最大値は使用条件およびシール材によって異なる
