低振動と高い制御性

空気圧式または電磁式のアクチュエータを備えたバルブでは、バルブディスクがぶつかったり、ブレーキがかかったりすると、必然的に衝撃や振動が発生します。このような外乱は、あらゆる技術的な工夫によって確実に低減できるものではありますが、多くのアプリケーションでは、振動を減衰させるためにかかる労力が大きく、極端な場合、性能パラメータの制限につながることもあります。

このため、VATでは、徐々に電気駆動への移行が進んでいます。このタイプの駆動は、非常に短い閉鎖時間であっても、バルブディスクの閉鎖または開放動作を正確に制御できることが特徴です。半導体チップの製造など、現代のハイテク用途では、低振動に対する要求が高まっており、この技術的解決策は、遮断バルブにおいてもますます注目すべきものとなっています。

そこでVATは、真空制御バルブ用の電動アクチュエータの開発に加え、数年前から真空遮断バルブ用のモーター駆動型バルブシリーズの開発にも取り組んでいます。特に力を入れているのが、アングルバルブのシリーズで、非常に多くのアプリケーションで使用される、多用途でモジュール性が高い設計のバルブです。アングルバルブでは、電動アクチュエータが衝撃や振動の防止に大きなメリットをもたらします。電気駆動のアングルバルブは、機械的な振動防止を追加する必要がないため、振動が避けられないプロセス領域の近くで使用することができ、多くのエリアで真空システムの複雑さが軽減されます。

各アプリケーションに合わせたモーターレイアウト

電動アクチュエータの利点を最大限に生かせるよう、各バルブ用途に応じて、個別のパワートランスミッションとモーターレイアウトを決定します。例えば、超高速サイクルタイム向けバルブの場合、通常の閉鎖サイクルのバルブとは異なるモーターで動かす必要があり、重いゲートが搭載された大型バルブでは、小型バルブとは異なるサイズのモーターが必要です。