
碳化硅:从专用走向主流市场的半导体
虽然几乎每种电子产品都内置了硅芯片,但有些应用对硅芯片的效率要求会更高。碳化硅芯片作为硅芯片的高性能替代品,愈发得到广泛应用,而 VAT 提供的真空解决方案能够使碳化硅芯片在越来越多的应用中可持续使用。(2分钟阅读)
VAT 机电一体化真空控制阀的集成或外部压力控制器提供了广泛的配置选项。
它们具有以下优势...
凭借集成的学习功能,压力控制器在规定范围内可独立调整阀门控制以适应主要的工艺条件。这提高了阀门控制在速度、电导以及避免振动和冲击方面的有效性。
通过运行 LEARN 功能(只需在启动期间执行一次),即可自动确定相关系统参数。由于采用自适应算法,压力调节器会根据气体流量或气体类型的变化不断进行调整,从而始终确保最佳的压力控制。
在位置控制模式下,阀板可以移动到任意位置。状态和位置通过 4 位显示屏指示。
VAT 压力控制器可以通过Logic、RS232、RS485、DeviceNet®、以太网、Profibus、CC-Link或以太猫接口由外部电脑控制。为此,VAT 为 Windows 提供了特殊的配置、控制和诊断软件,当 电脑连接到控制器时,该软件会自动加载。
RS232 接口和现场总线也可用于数字信号输入以关闭和打开阀门。此外,数字输出可用于“关闭”和/或“打开”信号。
基于Logic接口的控制可以通过数字和模拟信号选择性完成。 由于每个压力控制器都是为特定的真空阀设计的,因此您必须首先确定相应的阀门类型,以找出适用于该阀门类型的控制器。
由于每个压力控制器都是为特定的真空阀设计的,因此您必须首先确定相应的阀门类型,以找出适用于该阀门类型的控制器。
可用接口:
功率消耗 – 控制器+电机 – 电源故障选项 (PFO) – 传感器电源 (SPS) |
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk 最大限度 40 W 最大限度 10 W 最大限度 36 W |
传感器电源 | 24 V DC 或 ±15 V DC |
传感器输入 – 信号电压 – 输入电阻 – 解决 – 采样率 |
0 – 10 V DC 与压力呈线性关系 Ri = 100 kΩ 0.23 mV 10 ms |
控制精度 | 5 mV 或设定点的 0.1% (较高的值适用) |
位置分辨率 | 取决于阀门类型 |
保护系统 | IP 30 |
温度 – 阀体 – 控制器 |
≤ 120 °C (61.6、 95.3 系列) ≤ 150 °C (61.3、61.7 系列) 最大 50℃(建议 ≤35℃) |
可用接口:
功率消耗 – 控制器+电机 – 电源故障选项 (PFO) – 传感器电源 (SPS) |
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk 最大限度 150 W 最大限度 10 W 最大限度 40 W |
传感器电源 | 24 V DC 或 ±15 V DC |
传感器输入 – 信号电压 – 输入电阻 – 解决 – 采样率 |
0 – 10 V DC 与压力呈线性关系 Ri = 100 kΩ 0.23 mV 2 ms |
控制精度 | 5 mV 或设定点的 0.1% (较高的值适用) |
位置分辨率 | 取决于阀门类型 |
保护系统 | IP 40 |
温度 – 阀体 – 控制器 |
≤ 80 °C (62.0, 64.8 系列) ≤ 120 °C (67.0 系列) 最大 50℃(建议 ≤35℃) |
可用接口:
功率消耗 – 控制器+电机 – 电源故障选项 (PFO) – 传感器电源 (SPS) |
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk 最大限度 54 W 最大限度 10 W 最大限度 36 W |
传感器电源 | 24 V DC 或 ±15 V DC |
传感器输入 – 信号电压 – 输入电阻 – 解决 – 采样率 |
0 – 10 V DC 与压力呈线性关系 Ri = 100 kΩ 0.23 mV 10 ms |
控制精度 | 5 mV 或设定点的 0.1% (较高的值适用) |
位置分辨率 | 取决于阀门类型 |
保护系统 | IP 20 |
温度 – 阀体 – 控制器 |
≤ 150 °C 最大 50℃(建议 ≤35℃) |
可用接口:
功率消耗 – 控制器+电机 – 电源故障选项 (PFO) – 传感器电源 (SPS) |
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk 最大限度 50 W 最大限度 10 W 最大限度 36 W |
传感器电源 | 24 V DC 或 ±15 V DC |
传感器输入 – 信号电压 – 输入电阻 – 解决 – 采样率 |
0 – 10 V DC 与压力呈线性关系 Ri = 100 kΩ 0.23 mV 10 ms |
控制精度 | 5 mV 或设定点的 0.1% (较高的值适用) |
位置分辨率 | 取决于公称直径 |
保护系统 | IP 20 |
温度 – 阀体 – 控制器 |
≤ 120 °C 最大 50℃(建议 ≤35℃) |
可用接口:
功率消耗 – 控制器+电机 – 电源故障选项 (PFO) – 传感器电源 (SPS) |
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk max. 110 W max. 10 W max. 40 W |
传感器电源 | 24 V DC 或 ±15 V DC |
传感器输入 – 信号电压 – 输入电阻 – 解决 – 采样率 |
0 – 10 V DC 与压力呈线性关系 Ri = 100 kΩ 0.23 mV 2 ms |
控制精度 | 5 mV 或设定点的 0.1% (较高的值适用) |
位置分辨率 | 取决于公称直径 |
保护系统 | IP 40 |
温度 – 阀体 – 控制器 |
≤ 120 °C 最大 50℃(建议 ≤35℃) |
连接 | 类型 | |
电源 | 61.3、61.6、61.7、95.3、62.0、 67.0、64.8、65.3、65.5 系列 64.2 系列 |
DB-15 公头 Weidmüller SL 3.50 公头 |
传感器 | 传感器输入 传感器电源 |
DB-15 母头 |
接口 | Logic, RS232, RS485 Ethernet (带 Logic I/O) DeviceNet® (带 Logic I/O) Profibus (带 Logic I/O) CC-Link (带 Logic I/O) CC-Link (带 Logic I/O) 64.2 EtherCAT (带 Logic I/O) |
DB-25 母头 RJ 45 Micro-style M12 公头 DB-9 母头 DB-9 母头 5极螺丝终端 2 \u001f RJ 45 |
Logic I/O | 61.3、61.6、61.7、95.3、62.0、 67.0、64.8、65.3 系列 65.5 系列 |
DB-15 公头 Binder M8 母头 |
服务 | 连接器:除以下之外的所有连接器 64.2 |
USB type B DB-15 HD 母头 |
传感器电源 (SPS) | ±15V DC |
电源故障选项 (PFO) | 阀门以规定的方式自动打开/关闭 |
阀组 | 以主从模式同步控制多个阀门 |
使用 VAT 提供的 CPA 软件通过电脑进行阀门校准和控制非常简单直观,提供以下功能:
为了简化操作,还可以通过集成在标准 19英寸机架中的服务箱和控制面板进行校准、控制和分析。选择范围与电脑版本相当,只是数据可视化会因为设计紧凑和显示简化而受到限制。