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6月 11, 2025 活动新闻

SNEC PV Power Expo 2025

欢迎与我们讨论我们最新的技术更新。我们将于6月11日至13日在上海的国家会展中心,1.2馆,VAT展位E550号,期待与您会面。

6月 5, 2025 公司新闻

VAT expands global footprint with new factory inauguration in VGP Park Arad, Romania

5月 20, 2025 投资者新闻 Ad hoc

VAT Capital Markets Day 2025

Ad hoc announcement pursuant to Art. 53 LR

5月 20, 2025 活动新闻

SEMICON Southeast Asia 2025

欢迎与我们讨论我们最新的技术更新。我们将于5月20日至22日在新加坡的Sands Expo and Convention Centre,C馆,VAT展位L2520号,期待与您会面。

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  2. 真空阀
  3. 真空传输门

真空传输门

与转移阀不同,密封门只在一个真空室进行装载或加工。因此,门的另一面始终处于大气压力下。所有的增值税解决方案都是为各自的应用量身定做的。

尺寸 (mm)

法兰类型

阀门功能

Actuation

06.6 - 大型传输阀/插件/闸门型与SOLVAT
06.6

大型传输阀/插件/闸门型与SOLVAT

适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能

06.8 - 大型传输阀/插件/闸门型与FLAPVAT
06.8

大型传输阀/插件/闸门型与FLAPVAT

适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能

07.0 - 真空传输阀门插件与LINVAT
07.0 1 × 10-10 mbar 至 1 bar (abs)

真空传输阀门插件与LINVAT

适用于 EFEM 和负载锁定应用的高性能

07.7 - 大型真空传输门插件与L-VAT
07.7

大型真空传输门插件与L-VAT

为显示器和光伏生产系统带来卓越性能

VAT是开发高真空解决方案的全球领导者,这些解决方案对于半导体、显示器和数字技术的生产至关重要。

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