对现代排气阀的主要要求是可靠、精准且快速作用的排气机制。一定程度的模块化可实现能够应对不同工艺的配置，并且安装条件也非常重要。
21.3 排气阀旨在满足真空系统的几乎所有排气要求。该系列阀门专为可靠、较长的免维护运行设计，支持手动驱动和自动驱动。
电磁驱动的自动版本因其特殊设计而格外突出。该系列阀门无需任何馈通件，采用全闭合式运行，并将作用器作为关闭装置，因此运行速度非常快，不需要满足带轴馈通件的普通阀门的维护要求。同时还消除了泄漏风险。
自动版本还提供故障保护机制，在断电时及时作出反应。该机制可在故障保护关闭或开启配置（NC 或 NO 版本）中使用，以满足工艺和安装要求。
手动
电磁式：
单作用，带闭合弹簧 (NC)
电磁式：
单作用，带开启弹簧 (NO)
21.3 系列的运行压力范围为 1 x 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs) 之间，气流为 50 升/14 秒（手动版）、100 升/30 秒（NC 版）和 50 升/270 秒（NO 版）。
21.3 已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试，证明了其卓越的可靠性。
特点：
优势：
| 手动 | 电磁 带闭合弹簧 (NC | 电磁 带开启弹簧 (NO) | ||
|---|---|---|---|---|
| 尺寸 | DN 10 mm (⅜") | DN 10 mm (⅜") | DN 10 mm (⅜") | |
| 驱动器 | 手动 | 电磁 带闭合弹簧 (NC) | 电磁 带开启弹簧 (NO) | |
| 阀体材料 | 铝和不锈钢 | 铝 | 铝 | |
| 标准法兰 | ISO-KF | ISO-KF | ISO-KF | |
| 泄漏率 | 阀体、阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-7 mbar ls-1 |
| 压力范围 | 1 × 10-8 mbar to 1 bar（绝对压强） | 1 × 10-8 mbar to 1 bar（绝对压强） | 1 × 10-8 mbar to 10 bar （绝对压强） | |
| 阀板 可承受压差 | 关闭方向 开启方向 | – – | 10 mbar 1 mbar | – – |
| 打开时 可承受压差 | 关闭方向 开启方向 | – – | 2 mbar 1 mbar | – – |
| 首次维护前开关次数 | – | 150 万次 | 300万次 | |
| 温度 | 铝阀体 不锈钢阀体 | 0– 80 °C 0– 120 °C | 5 –40 °C – | 5 – 50 °C – |
| 材料 | 铝阀体 | EN AW-6023 (3.0306) | EN AW-6082 (3.2315) | EN AW-6026 |
| 不锈钢阀体 | AISI 303 (1.4305) | – | – | |
| 阀板：铝阀门 不锈钢阀门 | EN AW-6023 (3.0306) AISI 304 (1.4301) | – | – | |
| 密封 | 氟橡胶 | 氟橡胶 | 氟橡胶 | |
| 馈通件 | 无 | 无 | 无 | |
| 安装位置 | 任何位置 | 任何位置 | 任何位置 | |
| 电源 | – | 200– 240 VAC, 50/60 Hz 100– 115 VAC, 50/60 Hz 24 VAC, 50/60 Hz 24 VDC | 200– 240 VAC, 50/60 Hz 100– 115 VAC, 50/60 Hz 24 VDC | |
| 排气时间 | 14 秒内 50 升 | 30 秒内 100 升 | 270 秒内 50 升 | |
| 重量 | 铝阀门 不锈钢阀门 | 0.1 kg/0.22 lbs 0.15 kg/0.33 lbs | 0.46 kg/1.01 lbs – | 0.1 kg/0.22 lbs – |
