Zuverlässige und präzise Steuerung für Ultrahochvakuum-Prozesse

Der 64.8 UHV-Regelschieber ist für die zuverlässige, präzise Regelung und Absperrung in Ultrahochvakuum-Prozessen konzipiert, z. B. in Anwendungen wie „Sputtern“ oder EUV in der Halbleiterproduktion. Er erfüllt die Standardanforderungen an Langlebigkeit, Modularität, Dichtheit und Wartungsfreundlichkeit mit besonderem Fokus auf hohe Verfügbarkeit und niedrige Betriebskosten.

Der Regelschieber ist mit der VATLOCK-Technologie ausgestattet, die eine zuverlässige Abdichtung ohne jegliche Reibung an der Tellerdichtung ermöglicht. Der Teller wirkt als Drosselelement und variiert den Leitwert der Schieberöffnung. Der integrierte Druckregler errechnet die erforderliche Tellerposition, um den definierten Solldruck zu erreichen. Ein Schrittmotor führt die Bewegung aus und ein Encoder überwacht die Position des Tellers. Dies gewährleistet eine schnelle und genaue Prozessdruckregelung. Der spezielle VATLOCK-Schließmechanismus garantiert eine dichte Absperrung in Verbindung mit einer ausfallsicheren Verriegelung. D. h. auch bei Stromausfall bleibt der Schieber hermetisch dicht geschlossen.

Die Ultra-Hochvakuumleistung wird durch eine metallische Kopfdichtung, eine balggedichtete Schiebedurchführung sowie eine vulkanisierte Tellerdichtung erreicht (O-Ring-Dichtung optional).

Der 64.8 UHV-Regelschieber wurde bereits in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert und hat dabei seine herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit seiner robusten, schmiermittelfreien Konstruktion erfüllt er alle Anforderungen an einen zuverlässigen Vakuumregelschieber.

VAT
Geschlossen
VAT
Offen

Der 64.8 UHV-Regel-Schieber ist in Größen von DN 200 – 250 mm (8" - 10") verfügbar, Während die Größen für DN 160 (6") und DN 320 (12") auf Anfrage erhältlich sind. Der Controller kann auch separat vom Schieber montiert werden. Weitere Optionen für Dichtungsmaterial, Flanschanschlüssen, Anschlüsse für Grobevakuierung, Entlüftung oder Messgeräte sowie spezielle Regelalgorithmen (adaptiv, fix PI, Downstream/soft-pump) erlauben eine optimale Auslegung für unterschiedlichste Anwendungsbedingungen.

Hauptmerkmale des 64.8 UHV-Regel-Schieber

Merkmale:

    • Zuverlässige, bewährte UHV-Konstruktion
    • Schmiermittelfrei
    • VATLOCK-Technologie
    • Robustes Gehäuse aus Edelstahl

Vorteile:

    • Zuverlässige und präzise Steuerung und Absperrung
    • Verlängerter wartungsfreier Betrieb
    • Niedrige Betriebskosten
  • Technische daten
Grössen DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12") 
Antrieb Integrierter Druckregler mit schrittmotorgesteuertem Regelkreis
Gehäusewerkstoff Nichtrostender Stahl
Durchführung Balg
Standard Flansche ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS
DichheitVentilgehäuse
Ventilsitz		< 5 × 10-10 mbar ls-1
< 1 × 10-9 mbar ls-1
DruckbereichDN160- 200
DN 250
DN 320		1 × 10-10 mbar to 1.6 bar (abs)
1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (abs)
1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (abs)
Druckbereich am TellerDN 160-200
DN 250-320		≤ 1.6 bar
≤ 1.2 bar
Druckbereich beim Öffnen ≤ 30 mbar
Zyklen bis zur ersten Wartung1)Drosselung (offen -max. offen)
Absperrung (öffnen - schließen - öffnen)		100 000
30 000
TemperaturVentilgehäuse
Controller		≤ 80°C
max. 50°C (≤ 35 °C empfohlen)
WerkstoffVentilgehäuse
Mechanik

Balg		AISI 304 (1.4301)
DN 160-200 - AISI 316L (1.4404) 
DN 250-320 - AISI 304 (1.4301) 
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
DichtungKopf
Teller		Metall
FKM
EinbaulageDN 160-250
DN 320		Beliebig
Horizontal
Ventilstellungsanzeige Visuell (Mechanisch und am Controller)

 

1) Maximalwerte: je nach Betriebsbedingungen und Dichtwerkstoffen

 

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