Hochleistungsvakuum-Bewegungskomponenten

Präzision & Sensibilität

Präzision ist nicht nur bei der Steuerung vakuumassistierter Produktionsprozesse entscheidend, sondern auch beim Substrat- oder Wafer-Handling selbst. Die Zuverlässigkeit und die Präzision beispielsweise bei der Bewegung von Silizium-Wafern in der Halbleiterfertigung sind entscheidend für die Fertigungsqualität und die Effizienz des Durchsatzes. VAT bietet seinen Kunden seit Jahren im Rahmen der Fertigung von Vakuummodulen auch die Integration von Bewegungskomponenten, wie Substrat- oder Wafer-Handling-Systemen an. Mit den VAT Hochleistungsvakuum-Bewegungskomponenten stellt VAT diese Komponenten interessierten Kunden jetzt auch unabhängig von seinen integrierten Lösungen zur Verfügung.

Als eine der ersten Produktgruppen im Bereich der Hochleistungsvakuum-Bewegungskomponenten bietet VAT mechatronische Wafer-Lift- und Substrat-Lift-Systeme an.