Die für ihre Qualität für die Hochzyklen-Produktion bekannte Baureihe 06.1 mit ihrer doppelten Schließtellerausführung (TWINVAT) wurde jetzt um die Baureihe 06.3 erweitert. Die 06.3 Baureihe ist für Anforderungen an Transferventile zwischen Schleusen- und Transferkammern optimiert sowie für alle Anwendungssituationen, in denen keine häufige Wartung des Schleusentellers notwendig ist. Hierfür ist das 06.3 mit größeren Druckelementen ausgestattet, die dem vollen Differenzdruck am Ventilteller in Öffnungsrichtung standhalten können. Er ist daher besonders für OLED-, PVD- und Schleusenanwendungen geeignet.

Die Baureihe 06.3 basiert auf dem gleichen Konzept wie die Baureihe 06.1 mit ihren schnellen Bewegungszyklen und ihren herausragenden Eigenschaften zur Vermeidung von Partikeln. Zusätzlich zu den bekannten Leistungsmerkmalen ist die Baureihe 06.3 jetzt auch in einer „Ultra Clean“-Konfiguration sowie in einer speziellen Hochgeschwindigkeitsversion für PVD- und Schleusenanwendungen erhältlich. Ebenso wie die Baureihe 06.1 ist die Baureihe 06.3 mit Gehäuse oder als Einschubversion zum direkten Einbau in die Kammer erhältlich.

Jedes 06.3 Transferventil wird durch zahlreiche Designoptionen auf die jeweiligen Anforderungen zugeschnitten. Dazu gehören z.B. eine Kontrolleinheit mit ETHERCAT Interface, spezielle Oberflächenbehandlungen wie harteloxiertes oder vernickeltes Aluminium, andere Dichtungsmaterialien, Vakuummessgeräte zur Erfassung des Drucks im Ventilgehäuse, faltenbalggeschützte Wellendurchführung, HF- und DC-Erdungsoptionen für Ventil und Schieber, seitliche Einbaulage der Antriebe und mehr.