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シリーズ

05.2 HV角型インサートL-VAT

  • 05212-LA44
サイズ参照

シリーズ

05.2 HV角型インサートL-VAT

品番
05212-LA44
1 × 10-9 mbar～1.2 bar (abs)

ロードロック、プロセスチャンバーの真空封止用

  • 技術データ
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サイズ
50 x 336 mm (1.97" x 13.2")
フランジ
特殊
材料
アルミニウム
アクチュエータ
圧空作動式、複動式
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
最小圧力
1 × 10-9 mbar
最大圧力
1.1 bar (abs)
コンダクタンス
9 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
1.1 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 0.03 bar
閉 / 開時間
≤ 1.0 sec
バルブ本体最大温度
≤ 120 °C
アクチュエータ最大温度
≤ 80 °C
位置インジケーター最大温度
≤ 80 °C
重量
14 kg / 31 lbs
製品のアドオン
インサート
ゲート
アクチュエータ

05.2 HV角型インサートL-VAT 05212-LA44 3次元CADファイル

ZIP 591 KB ダウンロード

05.2 HV角型インサートL-VAT 05212-LA44 2D寸法図

PDF 314 KB ダウンロード

05.2 HV角型インサートL-VAT 05212-LA44 マニュアル

PDF 1 MB ダウンロード

05.2 HV角型インサートL-VAT 05212-LA44 製品データシート

PDF 98 KB ダウンロード
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