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シリーズ

07.0 搬送用高真空ドア/インサートLINVAT

  • 07020-UA24

シリーズ

07.0 搬送用高真空ドア/インサートLINVAT

品番
07020-UA24

EFEMおよびロードロックチャンバーの大気側の真空封止に最適

  • 技術データ
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サイズ
50 x 420 mm (1.97" x 16.5")
フランジ
ドア：取り付け面垂直
材料
ステンレス鋼
アクチュエータ
圧空作動式、複動式
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
最小圧力
1 × 10-9 mbar
最大圧力
1.0 bar (abs)
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 30 mbar
バルブ本体最大温度
≤ 120 °C
アクチュエータ最大温度
≤ 80 °C
加熱および冷却速度
≤ 40 °C h-1
閉 / 開時間
≤ 1.0 sec
重量
6.7 / 14.77
製品のアドオン
バルブ
ドア
ゲート

07.0 搬送用高真空ドア/インサートLINVAT 07020-UA24 3次元CADファイル

ZIP 4 MB ダウンロード

07.0 搬送用高真空ドア/インサートLINVAT 07020-UA24 2D寸法図

PDF 1 MB ダウンロード

07.0 搬送用高真空ドア/インサートLINVAT 07020-UA24 マニュアル

PDF 468 KB ダウンロード

07.0 搬送用高真空ドア/インサートLINVAT 07020-UA24 製品データシート

PDF 95 KB ダウンロード
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