シリーズ
65.3 HV振子式コントロールバルブ
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シリーズ
65.3 HV振子式コントロールバルブ
品番
65350-PHAX
1 × 10-8 mbar~1 bar (abs)
SEMI,FPD製造装置の圧力制御と真空封止用に最適