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シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

  • 65350-PACX

シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

品番
65350-PACX
1 × 10-8 mbar～1 bar (abs)

SEMI,FPD製造装置の圧力制御と真空封止用に最適

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 320 (12")
フランジ
ISO-F
材料
アルミニウム
アクチュエータ
ステッピングモーター
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
1.2 bar (abs)
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 1 bar
コンダクタンス
30000 ls⁻¹
圧縮空気の最小圧力
4 bar / 58 psi
圧縮空気の最大圧力
7 bar / 102 psi
バルブ本体最大温度
≤ 120 °C
開→閉
5 s
閉→開
6 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
1.1 s
圧力制御（スロットル） 高速時間
0.6 s
コントローラー構成
SPSおよびPFO
コントローラーインターフェース + センサー
EtherCAT / センサー 2つ
重量
48 kg / 105.82 lbs
製品のアドオン
バルブ
ゲート
アクチュエータ
温度管理

65.3 HV振子式コントロールバルブ 65350-PACX 3次元CADファイル

ZIP 685 KB ダウンロード

65.3 HV振子式コントロールバルブ 65350-PACX 2D寸法図

PDF 822 KB ダウンロード

65.3 HV振子式コントロールバルブ 65350-PACX 製品データシート

PDF 254 KB ダウンロード
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