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シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

  • 65340-PHCX

シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

品番
65340-PHCX
1 × 10-8 mbar～1 bar (abs)

SEMI,FPD製造装置の圧力制御と真空封止用に最適

  • 技術データ
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サイズ
DN 100 (4")
フランジ
ISO-F
材料
硬質アルマイド加工アルミニウム
アクチュエータ
ステッピングモーター
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
最小圧力
1 × 10-6 mbar
最大圧力
1.2 bar (abs)
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 1 bar
コンダクタンス
80 ls⁻¹
バルブ本体最大温度
≤ 120 °C
開→閉
3 s
閉→開
4 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
0.7 s
圧力制御（スロットル） 高速時間
0.4 s
コントローラー構成
SPSおよびPFO
コントローラーインターフェース + センサー
EtherCAT / センサー 2つ
重量
12.5 kg / 27.56 lbs
製品のアドオン
バルブ
ゲート
アクチュエータ
温度管理

65.3 HV振子式コントロールバルブ 65340-PHCX 3次元CADファイル

ZIP 624 KB ダウンロード

65.3 HV振子式コントロールバルブ 65340-PHCX 2D寸法図

PDF 864 KB ダウンロード

65.3 HV振子式コントロールバルブ 65340-PHCX 製品データシート

PDF 254 KB ダウンロード
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