製品構成に戻る

シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

  • 64252-JEGG
サイズ参照

シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

品番
64252-JEGG
DN 100 - 400

高サイクルの真空制御と隔離に最適

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 400 (16")
フランジ
JIS
材料
ステンレス鋼
アクチュエータ
ステッピングモーター
位置表示信号
Visual (mechanical and on controller)
ソレノイド
非搭載
コントローラー構成
ベーシックバージョン
コントローラーインターフェース + センサー
RS232インターフェース / センサー 1つ
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
1.2 bar (abs)
コンダクタンス
50000 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1.2 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 30 mbar
開→閉
10 s
閉→開
10 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
9 s
バルブ本体最大温度
≤ 150 °C
アクチュエータ最大温度
≤ 80 °C
重量
155 kg / 341.71 lbs
製品のアドオン
バルブ
ゲート
アクチュエータ
温度管理

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64252-JEGG 3次元CADファイル

STP 21 MB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64252-JEGG 2D寸法図

PDF 638 KB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64252-JEGG マニュアル

PDF 2 MB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64252-JEGG 製品データシート

PDF 258 KB ダウンロード
Scroll to:
Scroll to:

スペアパーツ

見積依頼