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シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

  • 64251-JEAC
サイズ参照

シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

品番
64251-JEAC
DN 100 - 400

高サイクルの真空制御と隔離に最適

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 350 (14")
フランジ
JIS
材料
ステンレス鋼
アクチュエータ
ステッピングモーター
位置表示信号
Visual (mechanical and on controller)
ソレノイド
非搭載
コントローラー構成
SPS
コントローラーインターフェース + センサー
Logicインタフェース / センサー 1つ
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
1.2 bar (abs)
コンダクタンス
40000 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1.2 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 30 mbar
開→閉
10 s
閉→開
10 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
9 s
バルブ本体最大温度
≤ 150 °C
アクチュエータ最大温度
≤ 80 °C
重量
120 kg / 264.55 lbs
製品のアドオン
バルブ
ゲート
アクチュエータ
温度管理

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64251-JEAC 3次元CADファイル

STP 21 MB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64251-JEAC 2D寸法図

PDF 516 KB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64251-JEAC マニュアル

PDF 3 MB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64251-JEAC 製品データシート

PDF 258 KB ダウンロード
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