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シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

  • 64250-JEAL
サイズ参照

シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

品番
64250-JEAL
DN 100 - 400

高サイクルの真空制御と隔離に最適

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 320 (12")
フランジ
JIS
材料
ステンレス鋼
アクチュエータ
ステッピングモーター
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
コントローラー
センサー用電源搭載
インターフェース
CC-Link、センサー 1つ
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
1.2 bar (abs)
コンダクタンス
30000 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1.2 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 0.03 bar
開→閉
10 s
閉→開
10 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
9 s
バルブ本体最大温度
≤ 150 °C
アクチュエータ最大温度
≤ 50 °C
重量
112 kg / 246.92 lbs
コントローラー構成
SPS
コントローラーインターフェース + センサー
CC-Link / センサー 1つ
製品のアドオン
バルブ
ゲート
アクチュエータ
温度管理

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64250-JEAL 2D寸法図

PDF 603 KB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64250-JEAL マニュアル

PDF 5 MB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64250-JEAL 製品データシート

PDF 258 KB ダウンロード
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