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シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

  • 64248-CECY
サイズ参照

シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

品番
64248-CECY
DN 100 - 400

高サイクルの真空制御と隔離に最適

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 250 (10")
フランジ
CF-F (メートルネジ)
材料
ステンレス鋼
アクチュエータ
ステッピングモーター
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
コントローラー
SPS、PFO搭載
インターフェース
Ethernet、センサー 1つ
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
1.2 bar (abs)
コンダクタンス
22000 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1.2 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 0.03 bar
開→閉
10 s
閉→開
10 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
9 s
バルブ本体最大温度
≤ 150 °C
アクチュエータ最大温度
≤ 50 °C
重量
62 kg / 136.69 lbs
コントローラー構成
SPSおよびPFO
コントローラーインターフェース + センサー
Ethernetインターフェース　アナログ出力2つ / センサー 1つ
製品のアドオン
バルブ
ゲート
アクチュエータ
温度管理

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64248-CECY 2D寸法図

PDF 558 KB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64248-CECY マニュアル

PDF 4 MB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64248-CECY 製品データシート

PDF 466 KB ダウンロード
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