製品構成に戻る

シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

  • 64246-UEHC
サイズ参照

シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

品番
64246-UEHC
DN 100 - 400

高サイクルの真空制御と隔離に最適

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 200 (8")
フランジ
CF-F (UNFネジ)
材料
ステンレス鋼
アクチュエータ
ステッピングモーター
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
コントローラー
電源障害オプション搭載
インターフェース
ロジック (A/D)、センサー 1つ
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
2.0 bar (abs)
コンダクタンス
12000 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 2 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 0.03 bar
開→閉
6 s
閉→開
6 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
5 s
バルブ本体最大温度
≤ 150 °C
アクチュエータ最大温度
≤ 50 °C
重量
34 kg / 74.96 lbs
コントローラー構成
PFO
コントローラーインターフェース + センサー
Logicインタフェース / センサー 1つ
製品のアドオン
バルブ
ゲート
アクチュエータ
温度管理

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64246-UEHC 3次元CADファイル

ZIP 3 MB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64246-UEHC マニュアル

PDF 3 MB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64246-UEHC 2D寸法図

PDF 677 KB ダウンロード
Scroll to:
Scroll to:

スペアパーツ

見積依頼