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シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

  • 64244-CEGG
サイズ参照

シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

品番
64244-CEGG
DN 100 - 400

高サイクルの真空制御と隔離に最適

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 160 (6")
フランジ
CF-F (メートルネジ)
材料
ステンレス鋼
アクチュエータ
ステッピングモーター
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
コントローラー
ベーシックバージョン
インターフェース
RS232、センサー 1つ
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
2.0 bar (abs)
コンダクタンス
5000 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 2 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 0.03 bar
開→閉
6 s
閉→開
6 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
5 s
バルブ本体最大温度
≤ 150 °C
アクチュエータ最大温度
≤ 50 °C
重量
28 kg / 61.73 lbs
コントローラー構成
ベーシックバージョン/ Cluster Slave
コントローラーインターフェース + センサー
RS232インターフェース / センサー 1つ
製品のアドオン
バルブ
ゲート
アクチュエータ
温度管理

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64244-CEGG マニュアル

PDF 3 MB ダウンロード

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64244-CEGG 2D寸法図

PDF 698 KB ダウンロード
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