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シリーズ

62.7 ガスドージングバルブ

  • 62714-XE64-ABH3

シリーズ

62.7 ガスドージングバルブ

品番
62714-XE64-ABH3
1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)

真空チャンバー内のガス流を確実に制御

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 5 (1/5")
フランジ
Specific
材料
ステンレス鋼
アクチュエータ
Electromagnetic
位置表示信号
非搭載
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
2.0 bar (abs)
流量範囲
500 sccm
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1.1 bar
バルブ本体最大温度
≤ 80 °C
重量
96 g / 0.211 lbs
Power consumption
2.5 W

62.7 ガスドージングバルブ 62714-XE64-ABH3 3次元CADファイル

ZIP 791 KB ダウンロード

62.7 ガスドージングバルブ 62714-XE64-ABH3 2D寸法図

PDF 192 KB ダウンロード

62.7 ガスドージングバルブ 62714-XE64-ABH3 マニュアル

PDF 523 KB ダウンロード

62.7 ガスドージングバルブ 62714-XE64-ABH3 製品データシート

PDF 95 KB ダウンロード
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