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65.3 HV-Pendel-Regelventil

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65.3 HV-Pendel-Regelventil

Artikel-Nummer

65350-PHHX

1 × 10^-8 mbar to 1 bar (abs)

Optimierte Downstream-Druckregelung und -Vakuumisolation in SEMI- und Display-Systemen

Technische Daten
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Grösse

DN 320 (12")

Flange

ISO-F

Material

Aluminium hartanodisiert

Antrieb

Schrittmotor

Lagemelder Signal

Nein

Steuerventil

Nein

Druck Min.

1 × 10^-⁶ mbar

Druck Max.

1.2 bar (abs)

Differenzdruck am Teller

≤ 1 bar

Differenzdruck bei Öffnung

≤ 1 bar

Leitwert

30000 ls⁻¹

Min. Druck der Druckluft

4 bar / 58 psi

Max. Druck der Druckluft

7 bar / 102 psi

Max. Temperatur Ventilkörper

≤ 120 °C

Offen bis geschlossen

5 s

Geschlossen bis offen

6 s

Druckregelung (Drosselung) Standardgeschwindigkeit

1.1 s

Druckregelung (Drosselung) schnelle Geschwindigkeit

0.6 s

Controller Configuration

PFO

Controller interface + sensors

EtherCAT / 2 sensors

Gewicht

48 / 105.82

Optionen für Ihr Produkt

Ventil

Kundenspezifische Flansche

Anderer Werkstoff

Verschiedene metallische Oberflächenveredelungen

Teller

Anderer Dichtwerkstoff

Antrieb

Ultraschneller Antrrieb

Temperatur-Management

Heizung mit Isolation

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