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Series

65.3 HV-Pendel-Regelventil

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65.3 HV-Pendel-Regelventil

Artikel-Nummer

65340-PHUX

1 × 10^-8 mbar to 1 bar (abs)

Optimierte Downstream-Druckregelung und -Vakuumisolation in SEMI- und Display-Systemen

Technische Daten
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Grösse

DN 100 (4")

Flange

ISO-F

Material

Aluminium hartanodisiert

Antrieb

Schrittmotor

Lagemelder Signal

Nein

Steuerventil

Nein

Druck Min.

1 × 10^-⁶ mbar

Druck Max.

1.2 bar (abs)

Differenzdruck am Teller

≤ 1 bar

Differenzdruck bei Öffnung

≤ 1 bar

Leitwert

80 ls⁻¹

Max. Temperatur Ventilkörper

≤ 120 °C

Offen bis geschlossen

3 s

Geschlossen bis offen

4 s

Druckregelung (Drosselung) Standardgeschwindigkeit

0.7 s

Druckregelung (Drosselung) schnelle Geschwindigkeit

0.4 s

Controller Configuration

PFO and VC master

Controller interface + sensors

EtherCAT / 2 sensors

Gewicht

12.5 / 27.56

Optionen für Ihr Produkt

Ventil

Kundenspezifische Flansche

Anderer Werkstoff

Verschiedene metallische Oberflächenveredelungen

Teller

Anderer Dichtwerkstoff

Antrieb

Ultraschneller Antrrieb

Temperatur-Management

Heizung mit Isolation

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