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系列

65.3 高真空控压摆阀

系列

65.3 高真空控压摆阀

商品编号

65346-PHTX

1 × 10^-8 mbar 至 1 bar (abs)

可优化半导体与显示器系统中的下游压力控制和隔离

技术数据
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尺寸

DN 200 (8")

法兰

ISO-F

材料

硬质阳极氧化铝

驱动器

步进电机

定位指示信号

没有

电磁阀

没有

最低压力

1 × 10^-⁶ mbar

最高压力

1.2 bar (abs)

闸门上的压差

≤ 1 bar

打开时的压差

≤ 1 bar

电导率

12000 ls⁻¹

最低压缩空气压力

4 bar / 58 psi

最高压缩空气压力

7 bar / 102 psi

最高温度阀体

≤ 120 °C

打开到关闭

3 s

关闭到打开

4 s

压力控制（节流）默认速度时间

0.9 s

压力控制（节流）快速速度时间

0.5 s

控制器配置

带有VC Master的基本版本

控制器接口+感应器

EtherCAT / 2个感应器

重量

22.5 kg / 49.6 lbs

产品附加组件

阀门

客户特定的法兰

替代材料

替代表面处理

闸门

替代密封材料

驱动器

超快速版本

温度管理

带隔热套的加热器

65.3 高真空控压摆阀 65346-PHTX 3D CAD文件

ZIP 668 KB 下载

65.3 高真空控压摆阀 65346-PHTX 2D尺寸图

PDF 887 KB 下载

系列

65.3 高真空控压摆阀

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65.3 高真空控压摆阀

产品附加组件

阀门

闸门

驱动器

温度管理

65.3 高真空控压摆阀 65346-PHTX 3D CAD文件

65.3 高真空控压摆阀 65346-PHTX 2D尺寸图

65.3 高真空控压摆阀 65346-PHTX 产品数据表

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备件