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系列

65.3 高真空控压摆阀

  • 65340-PHTX

系列

65.3 高真空控压摆阀

商品编号
65340-PHTX
1 × 10-8 mbar 至 1 bar (abs)

可优化半导体与显示器系统中的下游压力控制和隔离

  • 技术数据
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尺寸
DN 100 (4")
法兰
ISO-F
材料
硬质阳极氧化铝
驱动器
步进电机
定位指示信号
没有
电磁阀
没有
最低压力
1 × 10-6 mbar
最高压力
1.2 bar (abs)
闸门上的压差
≤ 1 bar
打开时的压差
≤ 1 bar
电导率
80 ls⁻¹
最高温度阀体
≤ 120 °C
打开到关闭
3 s
关闭到打开
4 s
压力控制（节流）默认速度时间
0.7 s
压力控制（节流）快速速度时间
0.4 s
控制器配置
带有VC Master的基本版本
控制器接口+感应器
EtherCAT / 2个感应器
重量
12.5 kg / 27.56 lbs
产品附加组件
阀门
闸门
驱动器
温度管理

65.3 高真空控压摆阀 65340-PHTX 3D CAD文件

ZIP 624 KB 下载

65.3 高真空控压摆阀 65340-PHTX 2D尺寸图

PDF 864 KB 下载

65.3 高真空控压摆阀 65340-PHTX 产品数据表

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