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系列

61.3 高真空蝶形控制阀

  • 61350-PACX-0001

系列

61.3 高真空蝶形控制阀

商品编号
61350-PACX-0001
1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

快速且精准的下游压力控制

  • 技术数据
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尺寸
DN 320 (12")
驱动器
步进电机
材料
铝
法兰
ISO-F
控制器配置
SPS和PFO
控制器接口+感应器
EtherCAT / 2个感应器
最低压力
1 × 10-8 mbar
最高压力
1.2 bar (abs)
泄漏率
1 × 10-9 ls-1
循环直到第一次维修
2 000 000
最高温度阀体
≤ 150 °C
密封
FKM
闸门上的压差
≤ 0.07 bar
典型的关闭或开放时间
290 ms
最小可控电导率(N2分子流)
6 ls-1
最大电导率(N2分子流)
27‘000 ls-1
重量
10.6 kg / 23.5 lbs
产品附加组件
阀门
驱动器
控制器-接口
温度管理

61.3 高真空蝶形控制阀 61350-PACX-0001 3D CAD文件

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61.3 高真空蝶形控制阀 61350-PACX-0001 2D尺寸图

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61.3 高真空蝶形控制阀 61350-PACX-0001 产品数据表

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