真空炉
真空ポンプに加えて、真空炉で使用されるバルブ技術は、プロセスの効率と品質に決定的な影響を与えます。精密な制御に加えて、高い信頼性、堅牢な設計、高い稼働...
詳細情報最新のガスドージングバルブに求められるのは、制御性の高さと、事前に定義した流量設定に確実かつ正確に従う能力です。HV ガスドージングバルブSERIES 62.8は、その両方を実現します。
62.8シリーズはステッピングモーターで駆動し、<1 x 10-8 mbar ~ 3 barの範囲で、あらゆるレベルの圧力を非常に細かく制御できます。
開き始めからフルコンダクタンスまでの流量特性を、どの圧力レベルでも完全に制御することができる62.8シリーズは、ずば抜けた操作範囲の広さが特徴です。これにより通常は数種類のバルブが必要となるところを、たった1つのバルブで賄うことができます。
また、このシリーズはこれまでにない制御性の高さも特徴です。SERIES 62.8の特殊な遮断および制御システムに採用されているニードル&プレート機構により、非常に低いコンダクタンスでも圧力変化のピークがない、とてもスムーズな開動作特性を実現します。
選択した流量特性は、固定設定で定義することも、62.8 がコントローラーを介してプロセス内の圧力センサーに接続される、ダイナミック設定で操作することもできます。
O リングで密封されたフィードスルーにより、ダイナミックシールの数がプレートシールに限定されるため、メンテナンスの必要性が減り、バルブの信頼性と可用性が向上します。62.8シリーズは、様々なプロセス条件下において、多くの過酷なアプリケーションでテストされており、その卓越した性能が実証されています。
DN 16
HV ガスドージングバルブSERIES 62.8はステンレス鋼製で、DN16はISO-KFです。標準のボンネットシールはFKMですが、特殊な用途で必要な場合は材質の調整も可能です。
コントロール・パフォーマンス・アナライザーは、PC、ノートパソコン、またはタブレットで実行できるソフトウェアで、62.8のパフォーマンスを簡単に監視および分析して、必要なプロセスパラメータに合わせてバルブ設定を調整できます。
特徴:
メリット:
サイズ | DN 16 mm (5⁄8") | |
---|---|---|
アクチュエータ | ステッピングモーター | |
ボディ素材 | ステンレス鋼 | |
フィードスルー | 回転式フィードスルー | |
標準フランジ | ISO-KF | |
漏れ率1) | バルブ本体, バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
圧力範囲1) | < 1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs) | |
許容最大差圧(プレート) | ≤ 3 bar | |
温度 | 周囲温度 | ≤ 40 °C |
材質 | バルブ本体 ニードル フィルター ゲート |
AISI 304 (1.4301) AISI 304 (1.4301) AISI 316L (1.4404) AISI 316L (1.4435) |
シール | フィードスルー ゲート 吐出ノズル ノズル固定 フィルター |
FKM FKM PTFE FKM FKM |
取り付け位置 | 自由 | |
制御可能なコンダクタンス | 最小 / 最大 | 5 x 10-4 / 900 mbar ls-1 (フィルタ―1個付き) 5 x 10-4 / 800 mbar ls-1 (フィルタ―2個付き) |
動作時間 | 閉動作 / 開動作 | ≤ 2 s / ≤ 1.7 s |
電源 | 24 VDC | |
制御 | デジタル | |
重量 | 2.4 kg / 5.3 lbs |
1) 納入時は非加熱。