Vakuumöfen
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62.8 HV-Gasdosierventil
Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern
Produkt spezifizieren
Reproduzierbare Präzision über ausserordentlich grosse Druckbereiche
Die Hauptanforderungen an ein modernes, automatisiertes Gasdosierventil sind der Grad seiner Regelbarkeit sowie die Fähigkeit, einer vordefinierten Durchflusseinstellung zuverlässig und präzise zu folgen. Die 62.8 HV-Gasdosierventil-Baureihe vereinigt beides.
Die Baureihe 62.8 wird von einem Schrittmotor angetrieben und ist in der Lage, den Druck in einem Bereich von < 1 x 10-8 mbar bis 3 bar auf jedem Niveau sehr fein zu regeln.
Die Durchflusscharakteristik von der anfänglichen Öffnung bis zum vollen Leitwert kann bei jedem Druckniveau vollständig geregelt werden. Somit ist die Baureihe 62.8 in ihrem Betriebsbereich herausragend und bietet eine Einzelventillösung, wo normalerweise mehrere verschiedene Ventile erforderlich wären.
Die Baureihe bietet auch eine noch nie dagewesene Regelbarkeit. Das spezielle Absperr- und Regelsystem des 62.8, eine Kombination aus einem Nadel- und Tellermechanismus ermöglicht ein sehr sanftes Öffnungsverhalten, das selbst bei sehr niedrigen Leitwerten keine Druckänderungsspitzen aufweist.
Die gewählte Durchflusscharakteristik kann wahlweise über eine feste Einstellung definiert oder dynamisch gehandhabt werden. Hierzu wird das 62.8 HV-Gasdosierventil über den Controller mit einem Drucksensor im Prozess verbunden.
Aufgrund der mit einem O-Ring abgedichteten Durchführung ist die Anzahl der dynamischen Dichtungen auf die Tellerdichtung begrenzt. Dies erhöht die Zuverlässigkeit des Ventils und seine Verfügbarkeit, da der Wartungsbedarf sinkt. Die Baureihe 62.8 hat ihre herausragende Leistungsfähigkeit in vielen anspruchsvollen Applikationen unter unterschiedlichen Prozessbedingungen bewiesen.
DN 16
Das HV-Gasdosierventil 62.8 ist aus nichtrostendem Stahl mit ISO-KF für DN 16 erhältlich. Die Standardkopfdichtung ist aus FKM, doch der Werkstoff kann angepasst werden, falls dies spezielle Applikationen erfordern.
Die Software Control Performance Analyzer (CPA) kann auf beliebigen PCs, Laptops oder Tablets ausgeführt werden. Somit kann die Leistungsfähigkeit des 62.8 leicht überwacht und analysiert werden, um die Ventileinstellungen an die erforderlichen Prozessparameter anzupassen.
Hauptmerkmale des 62.8 HV-Gasdosierventil
Merkmale:
- Herausragend breiter Durchflussregelbereich
- Herausragende Regelbarkeit bei sehr kleinem Leitwert
- Integrierte Netzausfall-Abschaltfunktion (Option)
- Software CPA zum Lesen/Schreiben der Ventileinstellungen
Vorteile:
- Herausragende Prozessregelbarkeit
- Einzelventillösung für verschiedene Druckregime
- Ausgezeichnete Zuverlässigkeit und Lebensdauer
- Niedrige Betriebskosten
- Leichte Einstellung der Prozessanforderungen
Technische Daten
| GRÖSSEN | DN 16 mm (5⁄8") | |
|---|---|---|
| Antrieb | Schrittmotor | |
| Gehäusematerial | Nichtrostender Stahl | |
| Durchführung |
Drehdurchführung |
|
| Standard-Flansche | ISO-KF | |
| Leckrate1) | Ventilgehäuse, Ventilsitz | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| Druckbereich1) | < 1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs) | |
| Differenzdruck am Teller | ≤ 3 bar | |
| Temperatur | Umgebung | ≤ 40 °C |
| WERKSTOFF | Ventilgehäuse Nadel Filter Teller |
AISI 304 (1.4301) AISI 304 (1.4301) AISI 316L (1.4404) AISI 316L (1.4435) |
| Dichtung | Durchführung Teller Dosierdüse Düsenfixierung Filter |
FKM FKM PTFE FKM FKM |
| Einbaulage | Beliebig | |
| Kontrollierbarer Leitwert | Minimum / Maximum | 5 x 10-4 / 900 mbar ls-1 (mit einem Filter) 5 x 10-4 / 800 mbar ls-1 (mit 2 Filter) |
| BETRIEBSZEIT | Schliessen / Öffnen | ≤ 2 s / ≤ 1.7 s |
| STROMVERSORGUNG | 24 VDC | |
| STEUERUNG | Digital | |
| GEWICHT | 2.4 kg / 5.3 lbs |
1) Unbeheizt bei Auslieferung
